[发明专利]移除方法、积层体、形成方法、聚酰亚胺树脂及剥离液在审
| 申请号： | 202010069273.7 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN113219796A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 杨子瑾;林勇宇;赖积佑;钟明哲;张哲玮 | 申请（专利权）人： | 新应材股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C08G73/12 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 韩果 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种可形成具有良好的剥离性的聚酰亚胺树脂、移除光致抗蚀剂的方法、层合板、形成金属图案的方法及剥离液。移除光致抗蚀剂的方法包括：于基板上形成离型层，离型层具有彼此相对的第一表面与第二表面，其中离型层的第一表面与基板接触；于离型层的第二表面上形成光致抗蚀剂层；以及移除离型层以及光致抗蚀剂层。离型层是由聚酰亚胺树脂所形成。聚酰亚胺树脂是由四羧酸二酐类、二胺类以及苯酚胺类进行聚合反应而获得。二胺类包括羟基氟化二胺类、苯甲酸二胺类以及氨基四甲基二硅氧烷类。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 积层体 形成 聚酰亚胺 树脂 剥离 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新应材股份有限公司，未经新应材股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010069273.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种路段划分方法及装置
- 下一篇：导光模块
