[发明专利]一种中红外全光纤光腔衰荡痕量气体检测系统和方法

摘要

本发明公开了一种中红外全光纤光腔衰荡痕量气体检测系统和方法，波长可调谐中红外量子级联激光器作为光源，一段中红外单模光纤作为激光输出尾纤，一段中红外空芯光纤作为气室，空芯光纤的输入输出端的侧向钻有通气微孔以供被测气体通过，激光信号通过气室后进入一段中红外单模光纤。测量气室内真空时和充满被测气体时的光腔衰荡时间差，计算被测气体特征吸收波长的单波长气体吸收系数；通过调谐激光器波长，测得被测气体在波段范围内的吸收光谱系数与波长的关系；通过处理数据定性定量地确定被测痕量气体的成分和浓度。本发明灵敏度高、抗干扰能力强，使复杂光路耦合变得简单易行，系统结构紧凑、体积小、易便携。