[发明专利]一种超高分辨率含金属嵌段共聚物及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202010058407.5 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111187389A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 邓海;李雪苗;杨振宇 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C08F297/02 | 分类号： | C08F297/02;C08F226/06;C08F220/24;C08F8/42;C08F230/04;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 吴文滨 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超高分辨率含金属嵌段共聚物及其制备方法与应用，嵌段共聚物包含嵌段A及嵌段B，嵌段A及嵌段B均由单体聚合得到，并且嵌段A和/或嵌段B中部分重复单元含金属元素；制备时，可采用先合成嵌段聚合物随后将金属后修饰的方法，也可使用含有金属的单体直接合成嵌段共聚物；该嵌段共聚物可作为光刻材料来应用。与现有技术相比，本发明在用于半导体光刻的DSA材料中掺入金属元素，得到的嵌段共聚物材料不需模板也能导向自组装得到长程有序的超高分辨率纳米图形，并且能够增加嵌段聚合物的抗刻蚀性能，进而由此提供了一种得到极高分辨率的崭新的光刻手段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 分辨率 金属 共聚物 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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