[发明专利]压力传感器在审
| 申请号： | 202010057137.6 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111207883A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞琪;李超波;林琳;郜晨希;远雁;王迪;郑旭;张心强;靳毅;陈林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/14 | 分类号： | G01L19/14;G01L21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 方丁一 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种压力传感器，应用于传感器技术领域，包括：电路板、膜盒及膜盒温包、屏蔽板、加热罩，屏蔽板固定在膜盒温包上，膜盒位于膜盒温包内，电路板位于屏蔽板上，且与屏蔽板固定，加热罩固定于屏蔽板的表面上，并罩盖电路板。通过屏蔽板和加热罩将电路板与膜盒温包隔离，避免电路板的热量传递至膜盒温包，可避免电路板产生的热量影响膜盒温包对膜盒的整体温度控制，最终影响传感器的测量精度，同时保证电路板的正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
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