[发明专利]一种具有新型抽排腔的浸液供给回收装置有效
| 申请号： | 202010055888.4 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN113138541B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱亚冠 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市临安市青山湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有新型抽排腔的浸液供给回收装置。本发明包括抽排开口、抽排腔以及密封抽排通道，所述的抽排腔通过多个与抽排开口与浸没流场连通，不同抽排腔连通的抽排开口沿周向交叉排布；抽排腔至少有两个，每个抽排腔分别通过一个密封抽排通道与浸液回收系统连通；各个抽排腔与密封抽排通道的连通点沿抽排腔周向均匀布置。本发明通过将浸液抽排开口交叉引入多个抽排腔再被密封抽排通道抽排的方法，使不同的抽排腔和密封抽排通道始终同时处理高流量负载和低流量负载的抽排开口，改善了浸液回收通道的负载均衡能力，提高了维持浸没流场密封的稳定性、抑制气液两相流型改变所引发的振动特性和热传导特性波动问题，从而提高曝光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 新型 抽排腔 浸液 供给 回收 装置 | ||
【主权项】：
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