[发明专利]一种多端口非线性器件的谐波检测装置

摘要

该发明公开了一种用于多端口非线性器件的谐波检测装置，涉及微电子测量领域，具体说是一种用于多端口非线性器件的谐波测试装置。为了解决微电子器件结构小巧紧凑，易受干扰而导致的谐波测试难的问题；本发明选取低损耗，低反射器件，避免能量来回反射和损耗，减小测试误差；对每个测试端口都单独设置一条信号传播路径，避免支路干扰；利用水平基板延伸扩展微电子器件引脚到通用信号接口，同时保持待测件与装置在同一水平面上，提高精准度。该测试装置可同时测得多端口多路谐波数据以及输入信号，测试精度高，动态范围大，效果直观。