[发明专利]线切割装置及工件切割方法有效
| 申请号： | 202010053895.0 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111168868B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 陈建铭;卢健平 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 刘梦晴 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种线切割装置及工件切割方法，线切割装置包括：进击机构、轴承组件及绕线轮，进击机构包括进击轴及固定面，进击轴的固定侧与固定面相连接；轴承组件至少包括第一主轴、第二主轴；线切割装置还包括进击轴温度感知器，进击轴温度感知器设在固定面上；主轴温度感知器，包括左侧主轴温度感知器和右侧主轴温度感知器；进击轴温度感知器通过检测固定面内的温度，以控制固定面的膨胀收缩状况，来控制进击轴的移动方向及移动量，主轴温度感知器检测第一主轴和第二主轴左右两侧的温度，以控制轴承组件及其上绕线轮的移动方向及移动量。根据本发明的线切割装置及工件切割方法，可调整切割线在晶棒上相对应的位置，改善晶圆片的翘曲度。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 装置 工件 方法 | ||
【主权项】：
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