[发明专利]光波导多微流道芯片的制造方法有效
| 申请号： | 202010053152.3 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111229337B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈昌;刘博;豆传国 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N21/64 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 黄少波 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，在衬底上形成牺牲层，在牺牲层上形成下包层；在下包层上形成波导层；以波导层形成光波导；在所述波导层上形成上包层；形成微流道；所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内；所述微流道由上而下贯穿所述上包层和所述波导层延伸进所述下包层；去除所述牺牲层，以将所述衬底剥离；所述微流道宽度为10‑100μm、不贯穿所述下包层。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 多微流道 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】：
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