[发明专利]一种具有空间光阵列分束功能器件的装调装置在审
申请号: | 202010050801.4 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN113138469A | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 于海利;马振予;齐向东;糜小涛;李逸凡 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B27/62 | 分类号: | G02B27/62;G02B27/10;G01J3/02 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供的具有空间光阵列分束功能器件的装调装置包括:光源、分束棱镜、十字分划板、透镜组、光阑、CCD及待装调空间光阵列分束功能器件,所述光源出射的光束经所述分束棱镜后折转90度,再依次经所述十字分划板、所述透镜组及所述光阑后,以平行光照射所述待装调空间光阵列分束功能器件后返回至所述透镜组,再依次经所述十字分划板及所述分束棱镜后成像在所述CCD处,本发明提供的具有空间光阵列分束功能器件的装调装置,利用两路反射光的十字分划像是否重合达到在线实时监测空间分束阵列装调质量辅助装调目的,可有效降低空间分束阵列装调过程中的装调误差,从而提高空间分束阵列的波前分割一致性,进而提高仪器光谱成像性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 空间 阵列 功能 器件 装置 | ||
【主权项】:
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