[发明专利]一种三元金属核壳结构微纳米颗粒及其制备方法在审
申请号: | 202010048256.5 | 申请日: | 2020-01-16 |
公开(公告)号: | CN111112597A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 唐宏浩;杨惠茹;周荃;林伟;叶怀宇;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | B22F1/00 | 分类号: | B22F1/00;B22F1/02;B22F9/16;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 阎冬 |
地址: | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种三元金属核壳结构微纳米颗粒及其制备方法,方法包括:微纳米铜颗粒与保护剂、溶剂混合制得微纳米铜混合液;将溶剂、络合剂、第一壳层金属前驱体混合均匀制得第一预制液;将溶剂、络合剂、第二壳层金属前驱体混合均匀制得第二预制液;将第一预制液和第二预制液混合液依次加入微纳米铜混合液。本方法成本低廉,普适用于纳米微米尺度范围内的金属颗粒,较目前的双元金属核壳结构微纳米粒子,壳层材料中多元金属的引入可以进一步降低金属颗粒的烧结熔化温度,实现在更低温度下烧结,此外烧结时壳层与核金属原子扩散形成的三元金属具有更高的熔点,更有利于器件高温服役,在半导体芯片封装领域有着较好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 三元 金属 结构 纳米 颗粒 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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