[发明专利]一种用于晶硅铸锭炉的载气导流装置及其导流方法

摘要

本发明公开了一种用于晶硅铸锭炉的载气导流装置及其导流方法，主要包括导流套筒、外导流管和内导流管；所述导流套筒上端和顶部隔热笼上方进气管接头螺纹连接，导流套筒内壁设置周向均匀分布的内壁凸台，导流套筒下端设置密封管；所述外导流管外壁设置周向均匀分布的外壁凸台，下端设置侧部喷管和侧流底座，外导流管通过外壁凸台挂靠在导流套筒的内壁凸台上；所述内导流管上端和牵引装置连接，下端设置底部喷管，内导流直管和底部喷管连接处设置支撑台；使用该系统时，针对不同生长阶段，独立控制内导流管和外导流管载气流量及出流位置，从而在加速熔体自由表面杂质蒸发的同时，抑制载气回流和化学反应，最终降低铸锭中的氧碳含量。