[发明专利]等离子蚀刻的自动除粉装置及方法在审
| 申请号： | 202010045534.1 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111136901A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 丁雪苗;赵公魄 | 申请（专利权）人： | 珠海宝丰堂电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B29C59/14 | 分类号： | B29C59/14;B08B1/02;B08B5/02;B08B15/04;B29L7/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 张志辉 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子蚀刻的自动除粉装置，包括：蚀刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；活动闸板，设置于蚀刻腔室和除粉腔室之间，可隔离或连通蚀刻腔室和除粉腔室；毛刷组件，安装于除粉腔室内，与基板的表面接触，可相对基板沿第一水平方向往复移动；吹气口，设置于除粉腔室内，朝向基板的表面吹气；吸尘器，与除粉腔室相连通。本发明还公开了一种等离子蚀刻的自动除粉方法。在正常蚀刻作业时，打开活动闸板可连通蚀刻腔室和除粉腔室，将基板通过传动辊从蚀刻腔室输送到除粉腔室内，清理掉基板表面的残留粉尘，然后再将基板转移回蚀刻腔室，提高蚀刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 蚀刻 自动 装置 方法 | ||
【主权项】：
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