[发明专利]一种基于自准直仪的微小角度检测装置及方法有效
申请号: | 202010045377.4 | 申请日: | 2020-01-16 |
公开(公告)号: | CN111174733B | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 裴行行;王华;张凯胜;王东;王海波 | 申请(专利权)人: | 西安中科微星光电科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G01B11/27;G01B11/16 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 710119 陕西省西安市高*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于自准直仪的微小角度检测装置,包括:光源组件、与所述光源组件连接自准直仪、与所述自准直仪对应的反射镜、设置在所述自准直仪内部的探测器、设置在所述自准直仪上的楔形镜组件、以及与所述自准直仪连接的计算机控制系统;其中,所述光源组件用于点亮准直仪分划板并提供测试光束;所述楔形组件包括楔形镜和连接件,所述楔形镜通过连接件安装在自准直仪上;所述探测器用于检测光束焦点的偏移距离;所述计算机控制系统进行数据采集并计算。本发明主要采用楔形镜的偏光性能,用半口径的方式使自准直仪的出光分成两束角度不同的平行光,结构简单,使用方便,精准度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 准直仪 微小 角度 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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