[发明专利]一种硅-蓝宝石单芯体压差传感器有效
| 申请号： | 202010041840.8 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111207879B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王俊巍;马明宇;丁文波;谢胜秋;张冬梅;孙凤玲 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 主分类号： | G01L13/02 | 分类号： | G01L13/02;G01L13/06;G01L19/04 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种硅‑蓝宝石单芯体压差传感器，属于传感器制造技术领域，本发明为解决现有压差传感器不耐高温、固有频率低的问题。包括芯体和柱塞头引压腔结构；芯体包括敏感芯片、感压膜片、上下承压膜片、上下支撑柱和转接环组件；柱塞头引压腔结构包括上盖、连接管、柱塞头接口和下套管；柱塞头引压腔结构密封腔内安装芯体，上盖和连接管内侧密封腔为负压腔，连接管、柱塞头接口和下套管内侧密封腔为正压腔；上承压膜片和下承压膜片分别接收正压腔和负压腔介质压力，将压力信号通过上下支撑柱连接形成的支撑结构传递至感压膜片，感压膜片根据两个压力信号形成的压差信号产生形变，该形变引起敏感芯片电阻阻值变化，作为输出测量值。本发明用于压力检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 单芯体压差 传感器 | ||
【主权项】：
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