[发明专利]一种光电突触器件的制备及调制方法有效

专利信息
申请号: 202010038435.0 申请日: 2020-01-14
公开(公告)号: CN111192938B 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 鲁统部;王静静;陈旭东;张志成 申请(专利权)人: 天津理工大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/028;H01L31/113;G06N3/067
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 何文聪
地址: 300384 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种光电突触器件的制备及调制方法,所述制备方法包括以下步骤:制备包含栅极层、介电层、源电极和漏电极的场效应晶体管结构;在源电极和漏电极上方转移石墨烯薄膜;将石墨烯薄膜加工成导电沟道;在加工成导电沟道后的石墨烯薄膜表面制备石墨炔薄膜,得到场效应晶体管结构的光电突触器件。本发明通过在源电极和漏电极上方转移石墨烯薄膜,在石墨烯薄膜表面制备石墨炔薄膜,得到场效应晶体管结构的光电突触器件,本发明通过在石墨烯表面制备石墨炔薄膜,扩宽光波响应范围,并采用场效应晶体管结构实现光信号和电信号的调控,以满足复杂应用场景下的要求。本发明可广泛应用于人工神经网络技术领域。
搜索关键词: 一种 光电 突触 器件 制备 调制 方法
【主权项】:
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