[发明专利]一种光电突触器件的制备及调制方法有效
申请号: | 202010038435.0 | 申请日: | 2020-01-14 |
公开(公告)号: | CN111192938B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 鲁统部;王静静;陈旭东;张志成 | 申请(专利权)人: | 天津理工大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/028;H01L31/113;G06N3/067 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 何文聪 |
地址: | 300384 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种光电突触器件的制备及调制方法,所述制备方法包括以下步骤:制备包含栅极层、介电层、源电极和漏电极的场效应晶体管结构;在源电极和漏电极上方转移石墨烯薄膜;将石墨烯薄膜加工成导电沟道;在加工成导电沟道后的石墨烯薄膜表面制备石墨炔薄膜,得到场效应晶体管结构的光电突触器件。本发明通过在源电极和漏电极上方转移石墨烯薄膜,在石墨烯薄膜表面制备石墨炔薄膜,得到场效应晶体管结构的光电突触器件,本发明通过在石墨烯表面制备石墨炔薄膜,扩宽光波响应范围,并采用场效应晶体管结构实现光信号和电信号的调控,以满足复杂应用场景下的要求。本发明可广泛应用于人工神经网络技术领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 光电 突触 器件 制备 调制 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的