[发明专利]气体精制装置及其运转方法在审
| 申请号： | 202010037226.4 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111589298A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 川北启史;川端宏文 | 申请（专利权）人： | 大阳日酸株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/88;B01D53/72 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够抑制气体加热器所需的能量的量并降低运行成本的气体精制装置及其运转方法。该气体精制装置具有：气体加热器，其加热精制对象气体；催化剂筒，其使加热的精制对象气体中的杂质成分发生催化反应；精制器，其去除自催化剂筒导出的精制对象气体中的去除对象成分；气体导入路径和气体导入阀，该气体导入路径向气体加热器导入精制对象气体；精制器入口路径，其使自催化剂筒导出的气体向精制器导入；旁通路径和旁通阀，该旁通路径自气体导入阀的上游侧分支并与精制器入口路径连接；以及分析仪，其设于比旁通路径的分支部靠上游侧的位置，测量精制对象气体中的杂质成分浓度，根据测量的杂质成分浓度控制气体导入阀和旁通阀的开闭。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 精制 装置 及其 运转 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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