[发明专利]基于MEMS工艺的外凸式双层压力敏感膜、FP腔光纤声传感器在审
| 申请号： | 202010030449.8 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111141379A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 江致兴;周俐娜;刘滕 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（武汉） |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 武汉知产时代知识产权代理有限公司 42238 | 代理人： | 付春霞 |
| 地址： | 430000 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于MEMS工艺的外凸式双层压力敏感膜，包括软膜和镀在软膜下方的介质硬膜，所述软膜的直径大于介质硬膜的直径，所述软膜为由PDMS制成的橡胶膜或硅胶膜，所述介质硬膜包括若干第一介质层和若干第二介质层，所述第一介质层的折射率大于第二介质层的折射率，所述第一介质层和第二介质层由下至上依次交替层叠。本发明还提供一种FP腔光纤声传感器，利用该FP腔光纤声传感器收集透射光进行解调时，由于薄膜工艺使FP腔两个腔面的反射率接近99％，因此透射光谱为锐利的梳状谱线，此时，接收透射光，通过对光信号解调得到声压信号。本发明制作出的敏感膜外周形变量大,光纤模场直径范围内区域几乎无形变且反射率高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 工艺 外凸式 双层 压力 敏感 fp 光纤 传感器 | ||
【主权项】：
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