[发明专利]一种单像元红外和可见光双波段传感器及阵列

摘要

本发明公开了一种单像元红外和可见光双波段传感器，包括上层感光组件、桥柱、可见光感光组件和硅衬底；所述上层感光组件通过所述桥柱安装于所述硅衬底上方，且所述可见光感光组件设置于所述硅衬底的上表面；所述上层感光组件上设置有透光通孔，且所述可见光感光组件位于所述透光通孔的正下方。本发明还公开了一种单像元红外和可见光双波段传感器阵列。本发明一种单像元红外和可见光双波段传感器及阵列，可以实现可见光和红外双波段在单个像元的同时探测，目标信息更加丰富。同时，材料生长及器件制作工艺简单，有利于器件的焦平面化。