[发明专利]一种集成线性角度传感器的微镜有效
| 申请号： | 202010022276.5 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111208642B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李欢欢;白民宇;彭磊;马力;郭迪;王丛华 | 申请（专利权）人： | 西安知象光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 党桃桃 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区丈八街*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及微纳光学器件技术领域，具体涉及一种集成线性角度传感器的微镜，包括基座、角度传感器、反射镜元件，所述基座是四周边框包围底部形成的凹槽状结构，所述反射镜元件为平面结构，所述基座与反射镜元件连接形成具有中空结构的盒体，所述盒体的中空结构中轴向设置有角度传感器。本发明提出的微镜集成了线性角度传感器，可以对微镜转角进行实时检测，并且角度传感器输出与微镜转角之间是线性关系，角度传感器信噪比高，提高了微镜控制精度；并且适用于低频和高频扫描需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 线性 角度 传感器 | ||
【主权项】：
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