[发明专利]一种半导体高精洗装置有效
申请号: | 202010021659.0 | 申请日: | 2020-01-09 |
公开(公告)号: | CN111069156B | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 吴果;丁玉清;刘展波;李辉;张欣欣;熊盼龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/02 |
代理公司: | 深圳知帮办专利代理有限公司 44682 | 代理人: | 谭慧 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体高精洗装置,包括第一横板、箱体和排水管,所述第一横板的上表面固接有箱体,所述第一横板的上表面右侧安装有清洗装置。该半导体高精洗装置,通过方形块、竖板、双向螺纹杆、把手和凹形板等结构之间的配合,可以对半导体工件进行夹紧,从而更加方便操作者进行清洗,通过电动推杆、第二弧形块、竖杆、弹簧和套筒等结构之间的配合,通过电动推杆提供动力,从而避免了化学液溅射到操作者受伤的情况,通过水泵、箱体、第一水管、第二水管、和喷头等结构之间的配合,通过水泵对化学液进行循环利用,同时通过喷头喷出化学液,这样就达到了自动清洗的目的,降低了劳动强度,实用性能更高。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 高精洗 装置 | ||
【主权项】:
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