[发明专利]测量工件内表面形貌和薄膜厚度的检测装置及系统在审
| 申请号： | 202010020499.8 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111207686A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 李海波;李赣;谷玥娇;吕俊波;郑少涛;唐涛;余慧龙;胡殷;张广丰 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/06;G01N21/25 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 蒋姗 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种测量工件内表面形貌和薄膜厚度的检测装置及系统，装置包括光源光纤、成像光纤和光谱测量光纤。光源光纤的输入端用于与光源设备连接；光谱测量光纤的样品端用于采集光源光纤输出光线的反射光谱信号，并传输给光纤光谱仪；成像光纤的样品端用于采集光源光纤输出光线被工件内壁反射得到的成像光信号，并输出给传输给成像设备。本方案光源光纤的样品端、成像光纤的样品端、以及光谱测量光纤的样品端可以放入密闭工件中，用户根据光纤光谱仪得到的光谱可以计算出腐蚀层厚度信息，而成像设备能够实现对工件内部形貌的获取，这使得用户能够同时观测表面形貌和测量反射光谱信息，提高测量结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 工件 表面 形貌 薄膜 厚度 检测 装置 系统 | ||
【主权项】：
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