[发明专利]一种显示面板及其制备方法在审
| 申请号： | 202010020197.0 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111192908A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张伟彬 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/32 | 分类号： | H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 刁文魁 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种显示面板及其制备方法。所述显示面板包括：衬底层、位于所述衬底层之上的缓冲层、以及位于所述缓冲层之上的有源层。其中，所述有源层由原子晶体单质和原子晶体化合物混合而成，所述原子晶体单质为多晶硅。本发明通过将非晶硅层在进行激光退火晶化形成多晶硅层之前进行原子掺杂，可以使晶化时晶粒更细，降低因晶粒挤压形成凸起的高度，晶化后形成原子晶体单质和原子晶体化合物的混合层，其粗糙度低，后续制程不易发生破膜、蚀刻不干净、尖端放电等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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