[发明专利]一种用于标定直写光刻设备光路系统倍率的装置及方法在审
| 申请号： | 202010018848.2 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111123660A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 张琦 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于标定直写光刻设备光路系统倍率的装置及方法。该装置包括升降系统、滑竿系统、转接系统和相机系统。滑竿系统包括X向滑竿组件和Y向滑竿组件。X向滑竿组件包括X向滑竿一与X向滑竿二；Y向滑竿组件包括Y向滑竿一与Y向滑竿二。X向滑竿一、X向滑竿二、Y向滑竿一和Y向滑竿二均包括滑竿主体和设置在滑竿主体两端的固定组件。转接系统包括转接块一、转接块二、转接块三和转接块四。相机系统包括相机一、相机二、相机三和相机四。本发明采用多个位置关系固定的相机替代了原有高精度运动平台，降低了标定倍率成本，解决了光路系统倍率无法离线标定问题，适用于不同环境下倍率标定，具有结构合理、布局紧凑、耦合性强等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 标定 光刻 设备 系统 倍率 装置 方法 | ||
【主权项】：
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