[发明专利]一种半导体高精洗装置有效
| 申请号： | 202010018714.0 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111112216B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 吴果;丁玉清;刘展波;李辉;张欣欣;熊盼龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/04;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 深圳知帮办专利代理有限公司 44682 | 代理人： | 谭慧 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体高精洗装置，包括基座，所述基座一侧的下表面固定连接有支撑架，且基座的前表面固定连接有检视窗，所述基座上表面的一端固定连接有固定架，且基座上表面靠近固定架的下侧固定连接有精洗箱，所述基座上表面靠近精洗箱的一侧固定连接有传送带，且基座上表面靠近传送带的外侧固定连接有风干箱，所述固定架的上表面固定连接有驱动板，本发明涉及半导体清洗装置技术领域。该半导体高精洗装置中的精洗箱设置有多个区域，可以采用不同的方式对半导体进行清洗，从而可以提高半导体的清洗质量和效率，并且放置盒分隔有多个区域，可以一次性对多个半导体进行清洗，从而可提高清洗的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 高精洗 装置 | ||
【主权项】：
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