[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 202010017324.1 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111503021B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 二木敬一 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/38 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种涡轮分子泵，其能够实现分子量小的氢气等的排气性能的提高。在涡轮分子泵的转子叶片(40)及定子叶片(30)的每一个，在圆周方向设置有多个扭曲叶片形状的浆叶(300、400)，所述浆叶形成为放射状且内径侧叶片角度(θin)与外径侧叶片角度(θout)不同。关于叶片间距离(S)与浆叶长(b)的比即无因次参数(Xin)、无因次参数(Xc)、无因次参数(Xout)，多层转子叶片(40)及多层定子叶片(30)的至少一者构成为满足以下条件中的任一个：第一条件“Xout＜Xc且Xin＜Xc”、第二条件“α·Xc Xin＞Xc＞Xout，其中α＝1.04”以及第三条件“Xin＜Xc＜Xoutβ·Xc，其中β＝1.04”。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010017324.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
