[发明专利]一种电子显微镜外罩式真空箱装置在审
| 申请号： | 202010014354.7 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111128653A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨艳娜;郭新勇;张康;李盛;董宝杰 | 申请（专利权）人： | 河南河大科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 475000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子显微镜外罩式真空箱装置，将电子显微镜主机置于真空箱中，为电子显微镜提供低真空状态的工作环境。该装置包括：真空箱（1）、机械泵（2）、机械手（3）、电子显微镜（4）。本发明设计一种电子显微镜外罩式真空箱装置，将电子显微镜整体置于其中，实现电镜在粗真空环境下工作，人员在真空外操作，以减少工作环境中不良因素对电子显微镜的影响，提高电子显微镜的稳定性，延长电子显微镜的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子显微镜 外罩 空箱 装置 | ||
【主权项】：
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