[发明专利]一种提升垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺均匀性的方法及装置在审
| 申请号： | 202010002979.1 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111162452A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 罗玉辉;程元红;何兵 | 申请（专利权）人： | 深亮智能技术（中山）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;F27B17/00 |
| 代理公司： | 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 王洪娟;马赟斋 |
| 地址： | 528400 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提升垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺均匀性的方法，将垂直腔面发射激光器放置加热炉中，启动加热炉加热至反应温度，然后将水蒸汽以恒定流量由载气带入加热炉，水蒸汽和垂直腔面发射激光器的外延片中暴露的高铝组分化合物发生反应，形成氧化物限制结构，即氧化铝绝缘层。本发明还提供了提升垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺均匀性的装置。本发明中的VCSEL湿法氧化用于反应的水蒸汽由恒定水流量的蒸汽发生装置产生，水蒸汽流量稳定且恒定，能够稳定控制氧化深度，提高氧化的均匀性和重复性，解决了现有方法中氮气携带水蒸汽的量不稳定导致氧化深度稳定性不易控制的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 垂直 发射 激光器 湿法 氧化 工艺 均匀 方法 装置 | ||
【主权项】：
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