[发明专利]蒸镀掩模的制造方法和有机EL显示装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201980051186.4 申请日: 2019-08-05
公开(公告)号: CN112534080B 公开(公告)日: 2023-09-05
发明(设计)人: 曾根康子;小幡胜也 申请(专利权)人: 大日本印刷株式会社
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23F1/00;H10K59/10;H10K71/00;H05B33/10
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 王博;庞东成
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 蒸镀掩模的制造方法具备下述工序:树脂层形成工序,将树脂溶液涂布到基板的一个面上,由此在基板的一个面上形成树脂层;去除基板的至少一部分,由此在树脂层形成树脂层不与基板的一个面接触的非接触区域的工序;在树脂层形成非接触区域后,使树脂层与液体接触、或者将树脂层加热的工序;和树脂层加工工序,在使树脂层与液体接触、或者将树脂层加热的工序后,对树脂层进行加工,由此在树脂层形成第2开口部。
搜索关键词: 蒸镀掩模 制造 方法 有机 el 显示装置
【主权项】:
暂无信息
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