[发明专利]视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法在审
| 申请号： | 201980017704.0 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN111819435A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 柳弘俊;白京奂;裵秀珉;张成厦 | 申请（专利权）人： | 宰体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/13;G06T7/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国忠清南道天安市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法，更详细地说，涉及针对半导体元件执行视觉检查的视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法。本发明公开了一种视觉检查模块(100)，作为执行平面形状为直角四边形的元件(1)的视觉检查的视觉检查模块(100)，包括：图像获取部(110)，用于获取元件(1)的图像；光路形成部(120)，选择性形成第一光路(L1)和一对第二光路(L2)，所述第一光路(L1)为使元件(1)的第一平面的第一平面图像到达所述图像获取部(110)，所述一对第二光路(L2)为使所述元件(1)的相对的一对侧面的一对侧面图像到达所述图像获取部(110)。 | ||
| 搜索关键词： | 视觉 检查 模块 元件 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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