[发明专利]用于控制等离子体性能的方法和系统在审
| 申请号： | 201980009430.0 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111630623A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 麦里特·法克;梅根·多佩尔;茂山和基;切尔西·杜博斯;贾斯廷·莫塞斯 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈炜;李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于控制等离子体性能的方法和系统的实施例。在实施例中，一种方法可以包括以第一组功率参数向等离子体室供应功率。另外，该方法可以包括使用该第一组功率参数在该等离子体室内形成等离子体。该方法还可以包括测量以该第一组功率参数耦合到该等离子体的功率。而且，该方法可以包括以第二组功率参数向该等离子体室供应功率。该方法可以另外包括测量以到该等离子体的该第二组功率参数耦合到该等离子体的功率。该方法还可以包括至少部分地基于对以该第二组功率参数耦合的功率的测量来调整该第一组功率参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 等离子体 性能 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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