[实用新型]一种电注入装置

摘要

本实用新型属于太阳能电池生产技术领域，公开了一种电注入装置，该电注入装置包括壳体和电注入部，所述壳体内具有工艺腔，所述电注入部能向容置于所述工艺腔内的硅片通电，以对所述硅片进行电注入作业并使所述硅片升温，所述工艺腔内还设置有：辅助加热结构，所述辅助加热结构与备用电源电性连接，以在通电时加热所述硅片；以及测温组件，所述测温组件用于测量所述硅片的温度，并与所述备用电源电性连接。本实用新型提供的电注入装置能够通过测温组件测量硅片的异常温降，并通过由备用电源供电的辅助加热结构维持硅片的温度，以确保处于电注入作业中的硅片不因异常温降而影响电注入效果和产能，并避免硅片报废。