[实用新型]一种真空镀膜机的弧源安装机构有效
| 申请号： | 201922323259.0 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211142146U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 胡静云;沈雄飞;文平;陈明胜;马国发;谯将;栾淑豪;黄勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 邓爱军 |
| 地址： | 518117 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种真空镀膜机的弧源安装机构，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体包括开设在其上端侧壁的管体一和管体二，所述镀膜机本体的一端通过螺孔固定连接有盖体，且盖体与镀膜机本体的侧壁转动连接，所述镀膜机本体的另一端固定套设有尾筒，所述镀膜机本体和尾筒的下端固定连接有多个支撑，所述盖体靠近镀膜机本体的一侧侧壁通过多个弧形块固定嵌设有弧源部。该种真空镀膜机的弧源安装机构，通过在镀膜机本体的盖体内设置多个弧形块用于镶嵌弧源部，并通过螺栓固定的方式固定弧源部与弧形块，进而使得弧源部的安装位置保持固定，避免发生弧源安装发生错位导致镀膜位置偏移的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 安装 机构 | ||
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