[实用新型]真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构及真空镀膜设备

摘要

本实用新型属于真空镀膜的技术领域，尤其涉及真空镀膜设备上的抽拉式离子源机构。包括设于真空镀膜设备上的离子源安装架、安装在所述离子源安装架内的离子源，所述离子源从所述离子源安装架的一端插入安装至离子源安装架内且可从离子源安装架中抽出拆卸。通过将离子源改为抽拉式的安装在离子源架上，变为可拆卸式连接，主要是解决了离子源维修时，需要开启真空室，大拆大装，降低设备寿命和性能的问题。采用抽拉式结构，将离子源单独剥离出来，形成一个独立的单元。当需要维修或者更换元器件，特别是检查小毛病时，不至于有较大的拆装动作。能够更加快速高效的解决生产维护问题，缩短设备维护时间。