[实用新型]一种真空度恒定的真空镀膜机有效
| 申请号： | 201922304887.4 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211339679U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 封文炎;阮志明;吴敬超;林敏;赖鸿飞;廖俊峰;王波;魏城峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 邓爱军 |
| 地址： | 518117 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，且公开了一种真空度恒定的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的一侧侧壁通过管道连通有真空泵，所述真空镀膜机本体的上端内壁固定连接有物料架，且真空镀膜机本体的一侧侧壁固定连接有负压仓，所述负压仓与真空镀膜机本体连通设置，且负压仓的内壁滑动连接有真空腔，所述真空腔靠近真空镀膜机本体的一侧滑动连接有挡板。该种真空度恒定的真空镀膜机，通过距离传感器配合电动推杆和真空腔，利用电动推杆移动真空腔调整真空镀膜机本体的内部容积快速实现真空度的快速调整，然后配合真空泵进行真空度的缓速调整，并使真空腔回归初始位置，及时响应下次真空度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 恒定 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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