[实用新型]一种增加光阻附着性的设备

摘要

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种增加光阻附着性的设备，用于处理晶片，至少包括：托盘，位于腔体内部，用于放置晶片；管路，连接腔体内部和外部；液体存储机构，位于腔体外部，与管路的一端连接，用于储存液体；喷头，位于托盘的上方，与管路的另一端连接，用于将液体喷洒至晶片表面；其特征在于：还包括连杆和与连杆下端连接的驱动机构，所述托盘具有复数个，所述托盘贯穿连杆平行设置，所述驱动机构驱动连杆旋转，并带动托盘旋转。本实用新型的多个垂直平行设置并可旋转的托盘，可以使HMDS液体完全附着于每个晶片的表面，同时浓度感应器，可以实时监控腔体内液体的浓度，同时在作业完成时，保证工作人员的安全。