[实用新型]气相沉积炉及气相沉积系统

摘要

本实用新型揭示了气相沉积炉及气相沉积系统，其中气相沉积炉，包括罩体及盖板，它们均连接一轴，罩体的侧壁上设置有第一气道、第二气道及第一电极及第二电极，第一电极电连接架设于罩体内的导电工件放置架，第二电极电连接位于罩体内且与导电工件放置架位置对应的导电板；盖板连接驱动其绕轴转动且在第一状态和第二状态之间切换的翻转驱动机构，第一状态下，盖板密封所述罩体的开口并与罩体形成一密封腔，第二状态下，盖板使罩体的开口保持敞开状态。本方案通过罩体与盖板形成腔体，且盖体可相对罩体翻转，极大的方便进行上下料作业，不需要采用微波发生器作为能量来源，有利于降低成本，盖板可以自动打开和关闭，效率高，易于操作。