[实用新型]曝光机自动上下料机的归零装置及其曝光机上下料机有效
| 申请号： | 201921643721.9 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN210626878U | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 唐伟雄;唐琦 | 申请（专利权）人： | 深圳市兆方智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 朱远平;黄韧敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于位置归零设备技术领域，提供了一种曝光机自动上下料机的归零装置及其曝光机上下料机，归零装置包括：横向运输单元，其包括横向运输组件以及第一驱动组件，所述横向运输组件由多组并排设置的滚轮组件组成，并且相邻的两组滚轮组件间隔有预定宽度的间隙；所述第一驱动组件与所述横向运输组件联动连接；横向定位单元包括归零挡板；纵向运输单元包括纵向归零推动件以及第二驱动组件，所述纵向归零推动件由所述间隙中向上方伸出；控制单元包括控制器，所述控制器与所述第一驱动组件以及第二驱动组件通信连接。借此，本实用新型的曝光机自动上下料机的归零装置及其曝光机上下料机，实现了自动将产品移动至归零位置。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 自动 上下 装置 及其 | ||
【主权项】：
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