[实用新型]氨水管路有效
| 申请号： | 201921478998.0 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN210771455U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 汪正韦;黄景山;刘鹏 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 顾浩 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的种氨水管路，包括：缓冲罐、泵、流量测量装置、混合路控制阀、混合罐、排气管路；缓冲罐下方设有出液口；泵的进口端通过第一管路连接缓冲罐的出液口；流量测量装置通过第二管路连接泵的出口端；混合路控制阀通过第三管路连接流量测量装置；混合罐通过第四管路连接混合路控制阀；排气管路支路连通于第二管路上；排气管路包含第一段排气管、排气控制阀和第二段排气管；第一段排气管与第二管路支路连通，排气控制阀分别连接第一段排气管和第二段排气管，第二段排气管与缓冲罐的上部连接。据此，氨水在所述氨水管路中循环时，能够及时排出管路中产生的气泡，减少了泵的空管现象，进而提高氨水循环管路中的流量稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 氨水 管路 | ||
【主权项】：
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