[实用新型]陶瓷盘搬运装置有效
申请号: | 201921314095.9 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN210223988U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 李继忠;李述周;朱春 | 申请(专利权)人: | 常州科沛达清洗技术股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种陶瓷盘搬运装置,包括轨道机构及设置在轨道机构上的机械手机构,机械手机构包括端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板,端板内开设有两滑槽,两滑槽内分别设置有第二驱动气缸,两第二驱动气缸与推板固定连接,第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接,第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接,第一导轨可沿着端板内壁移动,第二导轨可沿着第一导轨移动,定位板固定在第二导轨上。该陶瓷盘搬运装置能够自动抓取或存放陶瓷盘,从而便于陶瓷盘中转以供后续使用,同时可以实现二次伸缩,从而大大提高了整个装置的抓取范围。 | ||
搜索关键词: | 陶瓷 搬运 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造