[实用新型]晶圆片刷洗甩干机构

摘要

本实用新型涉及一种晶圆片刷洗甩干机构，包括定位平台组件及刷洗组件，定位平台组件包括旋转动力件、旋转平台、吸盘、升降动力件、升降座及保护罩，吸盘固定在旋转平台上，旋转平台与旋转动力件连接，保护罩套设在旋转平台外，保护罩固定在升降座上，升降动力件与升降座连接，刷洗组件包括刷盘、刷盘驱动件、刷盘摇摆动力件、摇臂及摇臂升降驱动件，刷盘对应设置在吸盘上方并与刷盘摇臂固定连接，刷盘与刷盘动力件连接，刷盘摇摆动力件与摇臂连接，摇臂升降驱动件与刷盘摇摆动力件连接。该晶圆片刷洗甩干机构通过定位平台组件及刷洗组件相配合，能够对晶圆片表面进行自动刷洗，刷洗后自动甩干，从而保证了晶圆片后续贴片的平整度。