[实用新型]一种碳化硅生长设备的两用真空系统

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅生长设备的两用真空系统，包括腔体、机械泵和干式真空泵，腔体连通的管道上安装有一个机械泵，干式真空泵的输入端连通两个真空管，两个真空管均连通在腔体上，其中一个真空管上还安装有分子泵和第二电磁式高真空阀门，分子泵连通在干式真空泵和第二电磁式高真空阀门之间，腔体还连通有气体管，气体管上安装有第一电磁式高真空阀门，腔体内还安装有检测装置；本实用新型的两用真空系统通过检测装置检测腔体中的气体含量、温度和压力，并通过控制箱分析后，相应的按比例调节腔体内的真空环境，可以精确的控制腔体内的真空环境，避免挥发物对系统的影响，还可以为碳化硅生产提供适宜的真空环境，以便于生产碳化硅。