[实用新型]一种芯片载带光刻用挡板机构有效
| 申请号： | 201920854910.4 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN209746352U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡水河 | 申请（专利权）人： | 常州欣盛半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11367 北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 蒋路帆<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 213100 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种芯片载带光刻用挡板机构，包括放料架、挡板机构、收料架和压辊，所述放料架、挡板机构、收料架和压辊设置在光刻舱内，所述压辊两端与光刻舱内壁转动连接，所述挡板机构位于放料架和收料架之间，所述挡板机构的左右两端各有一个压辊，两个所述压辊之间的载带贴在挡板机构上并随着挡板机构转动。本实用新型结构简单，通过放料架放料，再由挡板机构和压辊进行光刻，最后由收料架收料，完成了载带的光刻工序，易于实现，加工效率高，可实现连续生产。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板机构 压辊 放料架 收料架 光刻 载带 本实用新型 光刻工序 加工效率 转动连接 放料 内壁 收料 转动 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种芯片载带光刻用挡板机构，其特征在于：包括放料架(1)、挡板机构(2)、收料架(3)和压辊(4)，所述放料架(1)、挡板机构(2)、收料架(3)和压辊(4)设置在光刻舱内，所述压辊(4)两端与光刻舱内壁转动连接，所述挡板机构(2)位于放料架(1)和收料架(3)之间，所述挡板机构(2)的左右两端各有一个压辊(4)，两个所述压辊(4)之间的载带贴在挡板机构(2)上并随着挡板机构(2)转动。/n
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