[实用新型]全口径抛光浸没式元件加工装置及抛光机有效
| 申请号： | 201920853732.3 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN210232505U | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;谢瑞清;王乙任;赵世杰;张飞虎;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B13/005;B24B13/01;B24B57/02;B24B55/02;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及全口径抛光浸没式元件加工装置及抛光机，其中全口径抛光浸没式元件加工装置包括：工件盘，工件盘中部限定出一个浸没室，浸没室用于浸没加工中的元件；及抛光液输送泵，抛光液输送泵出液端通过抛光液输送管连接至浸没室上方喷射抛光液；其进液端与抛光液储液桶连接。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种全口径抛光浸没式元件加工装置，将元件放置在浸没室内，抛光液输送泵供液，抛光液由浸没室顶部流入，抛光液与加工中的元件各表面传导热量，从而有利于改善元件内部的温度分布均匀性，降低非均匀温度分布引起的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 抛光 浸没 元件 加工 装置 抛光机 | ||
【主权项】：
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