[实用新型]一种真空溅射镀膜机的进气系统有效
| 申请号： | 201920799435.5 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN210176937U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 张德军 | 申请（专利权）人： | 深圳市创基真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518015 广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空溅射镀膜机的进气系统，其包括进气箱体，所述进气箱体上连接有进气管道，所述进气管道与进气箱体连通；所述进气箱体内设有挡板，所述挡板的三条边与进气箱体内壁连接，另一条边靠近进气箱体内壁，与进气箱体内壁之间形成进气间隙；所述进气箱体底部沿其轴向开设有至少两个进气孔。本实用新型具有进气均匀，镀膜效果更好，模具表面膜厚更均匀，平整的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 溅射 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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