[实用新型]多功能集成式传感器有效
| 申请号： | 201920781277.0 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN210123288U | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 邱文瑞;王德信;潘新超;杨军伟;付亚林 | 申请（专利权）人： | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01D11/26;G01D3/036 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王迎;袁文婷 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种多功能集成式传感器，包括基板、气压传感器和惯性传感器；基板包括第一铜层、第二铜层及位于第一铜层和第二铜层之间的介质层；气压传感器的MEMS芯片设置在第一铜层上，并与第一铜层电气连接；气压传感器的ASIC芯片、惯性传感器的MEMS芯片和ASIC芯片均埋设在介质层中。利用上述实用新型，能够在减小产品整体尺寸的同时，提高产品的集成化。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 集成 传感器 | ||
【主权项】：
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