[实用新型]一种镀膜设备中的加热传感装置及镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种镀膜设备中的加热传感装置及镀膜设备。该装置包括温度传感部件、控制部件和加热传感基板，其中，加热传感基板包括第一磁场产生部件、第二磁场产生部件、第一热量产生部件和第二热量产生部件，第一热量产生部件与第一磁场产生部件对应设置，穿过第一热量产生部件的磁通量基于第一磁场产生部件的磁场变化而变化，以及第二热量产生部件与第二磁场产生部件对应设置，穿过第二热量产生部件的磁通量基于第二磁场产生部件的磁场变化而变化。本实用新型的技术方案可以精确控制加热温度，以对待镀膜基板均匀加热，进而避免在待镀膜基板上沉积的薄膜出现膜质异常的问题。

主权项

1.一种镀膜设备中的加热传感装置，包括温度传感部件、加热传感基板和控制部件，所述温度传感部件与所述控制部件电连接，以将采集的所述加热传感基板的加热温度发送至所述控制部件，其特征在于，所述加热传感基板包括沿基板中心到边缘依次设置的第一磁场产生部件和第二磁场产生部件；沿基板中心到边缘依次设置的第一热量产生部件和第二热量产生部件；/n所述控制部件分别与所述第一磁场产生部件以及所述第二磁场产生部件连接，以控制所述第一磁场产生部件产生变化的磁场以及控制所述第二磁场产生部件产生变化的磁场；/n所述第一热量产生部件与所述第一磁场产生部件对应设置，穿过所述第一热量产生部件的磁通量基于所述第一磁场产生部件的磁场变化而变化，以及所述第二热量产生部件与所述第二磁场产生部件对应设置，穿过所述第二热量产生部件的磁通量基于所述第二磁场产生部件的磁场变化而变化。/n