[实用新型]一种基于弧光电子源辅助的高真空离子氮化装置有效
| 申请号： | 201920233769.6 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN209873076U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 刘江江;李志荣;李迎春 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 44104 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523820 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于弧光电子源辅助的高真空离子氮化装置，其包括：真空室及与其连接的真空获得装置；工件架；离子氮化偏压电源：其阳极接真空室的室壁、阴极接工件架；还包括了弧光电子源装置：其又包括弧光电子源辅助阳极以及含有电弧靶的弧光电子源主体；弧光电子源主体绝缘地置于真空室室内壁上并配有弧光电子源主体电源，主体电源的阳极接真空室室壁、阴极接弧光电子源主体中的阴极电弧的电弧靶；弧光电子源辅助阳极绝缘置于真空室內靠近弧光电子源主体并配有辅助阳极电源，阳极电源阴极接真空室室壁，阳极与辅助阳极连接。本实用新型提高了氮化效率，缩短了工艺时间，减少传统离子氮化电弧烧伤，减少了能源及气体消耗和污染气体排放。 | ||
| 搜索关键词： | 弧光 电子源 辅助阳极 真空室 阴极 阳极 本实用新型 真空室室壁 氮化 离子氮化 主体电源 电弧靶 工件架 绝缘 真空获得装置 电子源装置 传统离子 电弧烧伤 偏压电源 气体消耗 污染气体 阳极电源 阴极电弧 辅助的 高真空 室内壁 室壁 电源 排放 能源 | ||
【主权项】：
1.一种基于弧光电子源辅助的高真空离子氮化装置，包括：真空室(5)及与其连接的真空获得装置；工件架(2)：设于真空室的内腔用于承载氮化产品；离子氮化偏压电源(3)：其阳极接真空室(5)的室壁、阴极接工件架(2)；其特征是：还包括弧光电子源装置，所述的弧光电子源装置又包括弧光电子源辅助阳极(7)以及含有电弧靶的弧光电子源主体(1)；所述的弧光电子源主体(1)绝缘地置于真空室室内壁上并配有弧光电子源主体电源(4)，主体电源(4)的阳极接真空室室壁、阴极接弧光电子源主体(1)中的阴极电弧的电弧靶上；所述的弧光电子源辅助阳极(7)绝缘置于真空室內靠近弧光电子源主体并配有辅助阳极电源(6)，阳极电源(6)阴极接真空室室壁，阳极与辅助阳极(7)连接。/n
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