[实用新型]一种双排离子刻蚀微调机构及离子刻蚀设备有效
| 申请号： | 201920145503.6 | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN209357692U | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 廖占武 | 申请（专利权）人： | 北京精恒工控科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 101118 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及离子刻蚀技术领域，具体是一种双排离子刻蚀微调机构及离子刻蚀设备，双排离子刻蚀微调机构包括双排测试头、双排测试探针、离子枪、双排挡板机构、工件托盘和双排石墨分流板，双排挡板机构上位于离子枪的上方设置有双排石墨分流板，离子枪的底部设置有氩离子进口，双排挡板机构的上方设置有工件托盘，工件托盘的上方设置有双排测试头，双排测试头的下方设置有双排测试探针，双排测试头与测量系统电性连接进行信号传输，本实用新型，在原有基础增加一倍挡板数量，能刻蚀和测量双排晶振，很大提高了测试系统的利用率，使测试效率提高了一倍，使得离子枪使用效率大幅度提高，生产效率比原有基础大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 双排 测试头 离子枪 工件托盘 离子刻蚀 双排挡板 微调机构 离子刻蚀设备 本实用新型 测试探针 分流板 石墨 离子刻蚀技术 挡板 测量系统 测试系统 测试效率 电性连接 生产效率 使用效率 信号传输 氩离子 晶振 刻蚀 测量 进口 | ||
【主权项】：
1.一种双排离子刻蚀微调机构，包括双排测试头（21）、双排测试探针（22）、离子枪（11）、双排挡板机构（14）、工件托盘（13）和双排石墨分流板（25），所述离子枪（11）设置于双排挡板机构（14）的中部下方，其特征在于，所述双排挡板机构（14）上位于离子枪（11）的上方设置有双排石墨分流板（25），所述离子枪（11）的底部设置有氩离子进口（12），所述双排挡板机构（14）的上方设置有工件托盘（13）。
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