[发明专利]透射电子显微镜图像畸变的表征方法及表征装置有效
| 申请号： | 201911403921.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111024739B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 张正飞;魏强民 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/2055 | 分类号： | G01N23/2055 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳;陈丽丽 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种透射电子显微镜图像畸变的表征方法。透射电子显微镜图像畸变的表征方法包括如下步骤：形成多个第一通孔组；获取样品在一第一参考倍率下的第一透射电子显微镜图像、以及第一目标倍率下的第二透射电子显微镜图像，第一目标倍率低于第一参考倍率；获取第一透射电子显微镜图像中每一第一通孔组内的两个第一通孔之间的第一参考距离、以及第二透射电子显微镜图像中每一第一通孔组内的两个第一通孔之间的第一目标距离；获取第一目标倍率下的透射电子显微镜图像相对于第一参考倍率下的透射电子显微镜图像的畸变信息。本发明可以获得在低于参考倍率的目标倍率下的透射电子显微镜图像畸变情况，操作简单、便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 电子显微镜 图像 畸变 表征 方法 装置 | ||
【主权项】：
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