[发明专利]逆导型IGBT的元胞结构及逆导型IGBT在审
| 申请号： | 201911366131.0 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN113053991A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 罗海辉;肖强;朱利恒;覃荣震;刘鹏飞 | 申请（专利权）人： | 株洲中车时代半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/417;H01L29/739 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;张杰 |
| 地址： | 412001 湖南省株洲市石峰*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本公开提供一种逆导型IGBT的元胞结构及逆导型IGBT。该元胞结构包括位于元胞结构中心的第二导电类型阱区；设置于所述阱区表面内的第一导电类型源区和第二导电类型源区；其中，所述第一导电类型源区位于所述第二导电类型源区两侧并且部分底部覆盖所述第二导电类型源区两侧的部分表面，并使得所述第一导电类型源区的侧面与所述第二导电类型源区未被所述第一导电类型源区覆盖的表面一起合围成一主沟槽；覆盖在所述主沟槽的侧壁和底部上的导电层；设置在所述栅结构上和所述主沟槽中的发射极金属层；其中，所述主沟槽的底部上的部分导电层与所述发射极金属层接触。这种结构可以降低栅极电压对逆导型IGBT内FRD正向导通压降的影响，使FRD获得更低的正向压降。 | ||
| 搜索关键词： | 逆导型 igbt 结构 | ||
【主权项】：
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